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C飞测（688361）研究报告：国内半导体量检测设备领先企业，打造中国KLA。半导体量/检测设备国产化率极低，公司有望深度受益于国产替 代。量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键，贯穿于 整个生产过程，随着工艺结构复杂化其重要性凸显。全球 2021 年市场规模约 100 亿美元，竞争格局集中，美国科磊 KLA、美国 应用材料、日本日立位居前三，KLA（市占率 54%）一家独大。中 国大陆市场进口依赖度高，2021 年国产化率仅 3%，国内主要有 中科飞测、上海精测、上海睿励（中微公司持股）及东方晶源等 公司持续突破。目前国内企业在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关 键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破，国内厂商市占 率有望进入成长快车道，深度受益国产替代。

中科飞测成立于 2014 年，目前在半导体量/检测设备收入体量上 为国内龙头，高研发支出保证公司持续创新能力。公司 22 年实现 营收 5.09 亿元，同比+41.2%；归母净利润 0.12 亿元，同比-78.0%。 下游客户包含中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、通富微 电等国内主流制造及封装厂。公司 2022 年研发费用率高达 40.4%， 主要产品包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌 量测、薄膜膜厚量测等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集 成电路制造产线，同时正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测、晶圆 金属薄膜量测等设备，我们看好公司在产品型号横向扩张的同时， 不断突破制程节点。公司 IPO 发行 8000 万股，发行价 23.60 元/ 股，募集总金额 18.9 亿，用于高端半导体质量控制设备产业化项 目/研发中心升级建设及补充流动资金。

2022 年末公司合同负债 4.8 亿，存货中发出商品 4.3 亿，在手订 单充足 。 公司 21/22 年合同负债 为 1.6/4.8 亿 元，同比 +384%/+217%，发出商品为 2.4/4.3 亿元，同比+425%/+76%，在手 订单充沛且销售强劲，快速成长动力足。