国产半导体量测设备行业研究：发展之天时地利人和.pdf

国产半导体量测设备行业研究：发展之天时地利人和。半导体量测设备行业壁垒高，竞争格局较为集中，我国国产半导体量测设备行业发展仍然处于初步阶段。半导体过程控制设 备包括检测设备、量测设备和过程控制设备，广义的半导体量测设备包括了 Inspection 和 Metrology 两大环节。因为半导体 量测设备与工艺设备直接挂钩，因此摩尔定律在一定程度上拉动了半导体量测设备的技术迭代。全球半导体量测设备市场规 模保持较快增长，6 年 CAGR 为 12.21%。在所有品类的半导体量测设备中，纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备 和关键尺寸量测设备销售市场占比较高，分别占比为 24.7%、11.3%和 10.2%。由于专利、技术被美国和日本等海外厂商所垄 断，半导体晶圆制造设备以美国和日本等厂商为主。集成电路工艺设备门槛较高，市场集中度高，而量测设备需要与不同的 工艺设备配套，对于线上良率提升来说重要性更加明显，行业集中度更高，而 KLA 公司市占率超过了 50%。半导体量测设备需 要与半导体制造设备相匹配，由于我国半导体制造设备国产化率相对较低，因此国产半导体量测设备行业发展仍然处于初步 阶段。

复盘半导体量测设备龙头成长之路，我们得到了哪些结论？科磊半导体（KLA）成立于 1976 年，是一家为多个行业提供工艺 支持解决方案的供应商，下游包括半导体、印刷电路板（PCB）和显示器。KLA 公司产品矩阵丰富，覆盖几乎全部量测设备品 类，在晶圆形貌检测、无图形缺陷检测、掩膜版检测、套刻误差检测等领域具有较强的竞争优势，光学技术和软件粘性构筑 较高的技术壁垒。我们分析 KLA 公司的成长之路，一方面是公司深耕半导体量测领域，不断挖掘客户需求，获得产品 know-how 来拓展产品的深度与广度。另外一方面，公司通过不断收购细分领域的“隐形冠军”来丰富公司的产品线。我们通过对 KLA 在半导体领域的收购进行复盘研究，主要得到以下结论：① KLA 的收购一般来说体量不是很大，除了与 Tencor 强强合联合， 以及 34 亿美元收购 Orbotech 来拓展面板、PCB 和 MEMS 领域客户之外，其他收购对象大多是细分领域的“隐形冠军”，通过 并购技术和客户方面都得到了补足；② KLA 在适当时候收购竞争对手 OnWafer 和 SensArray 公司，成为当时唯一一家提供晶 圆级量测设备的厂商。受益于中国大陆以及台湾地区的晶圆厂扩产，而国产量测设备导入进展偏慢，KLA 在中国的收入占比提 升至 50%以上，中国地区收入快速增长支撑 KLA 公司业绩保持较快增长。

顺应天时地利人和，国产半导体量测设备迎来发展良机。（1）天时：半导体行业持续增长为量测设备发展提供快车道，国家 政策频出解决卡脖子问题；（2）地利：半导体产业向国内转移叠加产业基金扶持，为量测设备本土化落地提供沃土；（3）人 和：越来越多专家以及行业领军人物回国拥抱半导体浪潮，工程师红利有利于解决上游理化层面 know-how。

受益于国内半导体产业链的快速发展和供应链自主可控要求，不同型号的国产量测设备已经陆续开始验证，我们预计未来量 测设备的行业将迎来弯道超车的机遇。受益于国内半导体产业链的快速发展和供应链自主可控要求，参考 KLA 公司的成长之 路，国内量测设备国产化需要率先在特定领域突围，在细分市场建立客户优势之后，开启横向和纵向扩张。随着工艺不断进 步，产品制程节点越来越多，生产成本呈指数级提升，检测和量测设备在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等指标上进一步 提升。随着技术 know-how 得以解决，我们预计未来国产量测设备的行业将迎来弯道超车的机遇。