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中科飞测（688361）研究报告：半导体质量控制设备巨头，驶入成长快车道。公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和 量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司产品已广泛应用在中芯 国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电 路制造产线，逐步打破国际设备厂商长期垄断局面。在半导体国产供应链安全愈 发迫切、国产替代加速的环境下，公司有望乘风而起。

国内领先的高端半导体质量控制设备公司，规模持续扩张

公司为国内高端半导体质量控制设备龙头公司，成立于 2014 年，产品主要包括无 图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系 列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路 制造产线。2022 年公司营收再创新高达 5.09 亿元，同比增长 51.76%，公司 2021 年归母净利润 0.53 亿元达历史最高，2022 年受部分重点研发项目投入相对较大以 及现阶段公司营业收入规模相对较小、规模效应尚未充分体现等主要因素的综合 影响，2022 年公司归母净利润为 0.12 亿，同比减少 78.02%。后续随着公司产能 释放、产品品类持续扩充，营收和利润体量有望快速提升。

半导体量测设备市场空间广阔，海外企业寡头垄断，国产替代刻不容缓

检测和量测环节是集成电路制造工艺中不可缺少的组成部分，贯穿于集成电路领 域生产过程。根据 YOLE 的统计，工艺节点每缩减一代，工艺中产生的致命缺陷 数量会增加 50%，因此每一道工序的良品率都要保持在几乎“零缺陷”的极高水平 才能保证最终芯片的良品率，质量控制设备的重要性使得半导体检测与量测市场 蓬勃发展。根据 VLSI Research 的统计，2020 年全球前道量测设备销售总额为 76.5 亿美元，五年 CAGR 为 12.6%，其中检测设备占比为 62.6%，量测设备占比为 33.5%，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备市占率最大，约占整体量测市场的 1/4。 VLSI Research 预计 2022 年全球半导体检测与量测设备市场规模有望超过 90 亿美 元。2020 年，科磊半导体、应用材料、日立位居前三，科磊以营收 38.9 亿美元绝 对优势占据 50.8%的全球市场份额，前三合计占据 71.2%的市场份额。中国大陆市 场依旧是由海外几家龙头厂商占据主导地位，进口依赖度较高，国内检量测设备 领域企业主要有上海精测、中科飞测、上海睿励（中微公司持股）及东方晶源等。 随着国内技术团队在量测设备多个细分领域持续发力突破，国内厂商市占率有望 进入成长快车道。

核心技术领跑国内，拓品类/扩产能助力公司持续成长

公司具有较强的科研实力，先后承担了多项国家科技重大专项及其他重大科研项 目。截至 2022 年 6 月 30 日，公司拥有研发人员 298 人，占公司总员工人数 44.08%。 已形成了一支涵盖光学、算法、软件、机械、电气、自动化控制等多学科、多领 域的专业人才队伍。公司 9 项核心技术覆盖了光学检测技术、大数据检测算法和 自动化控制软件等技术领域，在半导体质量控制设备灵敏度/重复性精度、吞吐量、 功能性等关键的性能指标上持续提高和突破，公司产品整体上可以与国际竞品相 媲美。客户方面，公司积累了包括中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、 华天科技、通富微电等知名客户，随着公司高端半导体控制设备产业化项目和研 发中心升级建设项目的募资完成，公司产能逐渐释放，国内晶圆厂/封测厂客户对 国产设备需求有望得到匹配，公司业绩成长性/确定性兼备。