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富创精密（688409）研究报告：国内半导体设备零部件龙头，受益国产化快速成长。公司概况：成立十余年，逐步成长为国内半导体设备精密零部件的领军企业。 富创精密成立于 2008 年，是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米及以上工艺 制程半导体设备的精密零部件制造商，掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、 表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺。公司产品主要包括工 艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，覆盖集成电路制造中刻 蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备， 核心客户包括国内外多家知名半导体设备制造商。在行业景气度回升及半导体 设备国产化趋势下，公司的收入及盈利能力快速提升，2022 年实现营收 15.44 亿元，同比+83.18%，2018-2022 四年 CAGR 61.85%；实现归母净利润 2.46 亿元，同比+94.19%。

行业分析：公司产品覆盖全球市场 230 亿美元，市场份额不足 1%，发展空间 大。作为半导体制造行业的上游，设备零部件产品质量对于半导体制造环节有 着直接影响。因此半导体精密零部件是半导体设备制造环节中难度较大、技术 含量较高、价值量较大的环节之一，随着工艺制程逐渐先进，零部件企业头部 效应愈发明显，2020 年全球前十大半导体零部件厂商的市场份额约 50%。根据 我们测算，公司 2021 年覆盖的半导体设备精密零部件全球市场规模约为 230 亿美元，占当年全球半导体设备市场规模的 22%，且公司覆盖的主要产品全球 市场规模有望在 2030 年超过 300 亿美元，目前公司收入仅占覆盖产品全球市场 规模的 0.5%左右，成长空间巨大。

竞争优势：公司产品最高覆盖 7nm 制程，部分核心技术处于国际领先，产品进 入境内外多个半导体设备头部企业。技术方面：公司是国内半导体设备精密零 部件的领军企业，专注于金属材料零部件精密制造技术，掌握了可满足严苛标 准的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺， 产品主要同中国大陆以外地区厂商竞争。客户方面：公司产品的高精密、高洁 净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到主流国际客户标准，已进入客户 A、东京 电子、日立高新和 ASMI 等全球半导体设备龙头厂商供应链体系，并且是客户 A 的全球战略供应商；境内客户包括北方华创、屹唐股份、中微公司等主流国产 半导体设备厂商。研发方面：公司于 2011 年和 2014 年两次承担国家“02 重 大专项”项目。2022 年研发费用率 7.89%，显著高于国际可比公司。随着公司 人才培养计划持续推进，截至 2022 年末，公司研发人员占比 18.09%，其中 7 名核心技术人员均具有多年专业技术领域研究经验。

未来布局：加大消耗性精密零部件开发，提高模组产品占比，积极扩产。（1） 产能方面：根据公司招股说明书，公司计划投资 10 亿元用于在南通建设半导体 设备精密零部件全工艺智能制造生产基地，包括精密机械制造、焊接、表面处 理特种工艺、钣金、气体管路、模组组装生产线，并搭建智能信息化管理平台， 投产后预计贡献营业收入约 20 亿元。（2）技术方面：公司未来计划持续加大技术研发投入，扩大 7 纳米工艺制程的半导体设备精密零部件的品类，持续提 升工艺水平和产品性能；同时，加快研制应用于 5 纳米及更先进工艺制程的半 导体设备精密零部件。（3）产品类别方面：公司计划针对未来市场对高端光刻、 薄膜沉积、刻蚀、清洗、化学机械抛光等设备的大量需求，加大相应消耗性精 密零部件的产品开发力度，包括匀气盘、各类腔体和腔内零部件及气体流速阀 门等核心产品。（4）客户方面：加大客户开发力度，实现客户多元化。公司与 国内外主要半导体设备厂商建立了长期稳定的合作关系，客户需求稳定增长， 未来公司将持续开拓国际国内主要半导体设备厂商。