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半导体配套治理专题：刚需&高壁垒铸就价值，设备国产替代&耗材突破高端制程！与市场不同的观点：为何推荐半导体配套治理？刚需&高壁垒铸就价值！ 半导体制作工序包括设计、制造、封装和测试等环节，制造过程对生产 环境的洁净程度有较高要求；同时，制造过程产生的废水、废气、废渣 也需要进行处理，由此带来半导体配套治理需求。1）半导体配套治理具 体包括：①设备类：洁净室过滤设备、臭氧发生设备、废气/废水/废渣治 理设备；②耗材类：洁净室过滤器、电子特气。2）半导体治理具备刚需 &高壁垒特点：①刚需：洁净室等级&废气治理水平直接关系到产品良 率。②高壁垒：半导体行业洁净室等级&特气纯度要求更高、废气组分 复杂处理难度更大、臭氧发生器对于臭氧的浓度&清洁度&自动化程度& 稳定性要求高于传统领域，彰显技术壁垒；半导体配套治理与生产过程 结合紧密，下游客户对生产稳定性十分注重，客户认证层面的高壁垒彰 显价值。

国产替代&耗材模式化&高端制程突破，半导体配套治理空间广阔。中 国 IC 自给率仅 16.7%，举国体制发展保障国家、产业链安全。产业东移 &国产替代加速，中国半导体资本开支依然强劲，我们预计 2021-2025 年 中国大陆晶圆/面板产能复合增速 16.6%/8.0%。

1）设备：国产设备技术突破，废气治理&臭氧国产替代加速。①泛半导 体废气治理：龙头引领国产替代，国产化率快速提升市场释放。我们测算 2023 年国内废气治理/附属制程设备市场空间 29 亿元/64 亿元。梳理中国 大陆核心供应商，测算 2021 年晶圆厂废气治理国产化率约 24%，制程附 属设备国产化率约 23%。行业已具备国产替代基础，国产化率有望快速 提升，促行业翻倍成长。②半导体臭氧：即将实现突破。我们测算 2023 年国内半导体臭氧设备市场空间约 54 亿元，2021 年国产化率仅 10%，本 土龙头公司已进入下游主机厂稳定性测试即将出货。

2）耗材：盈利模式更优&突破高端制程，洁净室过滤器&电子特气稳定增 长。①洁净室过滤设备：新建市场龙头地位稳固，耗材市场份额提升。我 们测算 2023 年国内泛半导体洁净室过滤设备新建/耗材替代市场空间 22 亿元/48 亿元，2021 年国内龙头公司美埃科技/悠远环境新建市场市占率 32%/19%，已展现出较强竞争力。龙头公司于耗材替代市场市占率较低， 测算 2021 年美埃科技耗材市场市占率约 6%。龙头发力耗材市场，有望 复制新建市场竞争力。②电子特气：晶圆制造第二大耗材，打开高端特气 国产化局面。电子特气占晶圆制造材料成本 13%，2025 年我国市场规模 501 亿元。国家政策引导下不断发展创新，逐步打开高端特气国产化局面。