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国林科技（300786）研究报告：布局乙醛酸与半导体设备，臭氧发生器龙头增长提速。公司为国内臭氧发生器设备龙头，22 年主业受到疫情一定程度的影响，23 年有望反转。同时公司凭借臭氧发生器积累延申出臭氧法制乙醛酸以及半导 体臭氧清洗设备，2.5 万吨乙醛酸项目于 22 年 6 月建成，近期处于爬坡过 程中，有望给公司业绩带来较大增量，半导体臭氧清洗设备已经送样客户， 国产替代空间较大。 公司专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案 设计与臭氧系统设备安装、调试、运营及维护，产品以大型臭氧发生器为主， 涵盖全系列臭氧发生器及臭氧系统集成设备，为国内臭氧设备龙头。公司在 国内率先开发自来水行业用臭氧发生器应用系统，并陆续推出包装饮用水及 直饮水、市政污水、印染和化工废水、工业氧化、烟气脱硝、工业覆膜、泳 池、食品加工空间消毒、畜牧养殖、粮仓消毒、冷库冷链臭氧发生器应用系 统等。现阶段正在进行纸浆漂白臭氧发生器应用系统、半导体级高浓度臭氧 水系统、光伏级高浓度臭氧水系统、电子级超纯臭氧气体发生器、电解臭氧 发生器、医疗治疗仪、臭氧家用水处理终端系统等的研发与应用。

乙醛酸项目持续推进，专有技术孕育高品质产品。乙醛酸是一种重要的医药 中间体和有机合成中间体，在医药、香料、油漆、造纸、精细化工等领域有 广泛的应用。公司利用既有的臭氧产业优势，历时近十年研发，目前已掌握 “臭氧氧化顺酐法”制取晶体乙醛酸的全部核心技术，并拥有制取高品质晶 体乙醛酸的专有技术，已建有 500 吨/年中试产线并实现销售。公司臭氧氧 化工艺制取的晶体乙醛酸产品为晶体，较传统乙二醛硝酸氧化法工艺水溶液 产品运输更为方便，且产品不含乙二醛杂质，生产过程中的污染程度也大幅 降低。公司于 2020 年启动新疆 2.5 万吨/年高品质晶体乙醛酸项目，2022 年 6 月 1 日完成工程主体建设，设备安装、调试及各项准备工作，但受新疆疫 情影响产能爬坡进度受阻，随着疫情放开，产能爬坡有望加速进行。

半导体臭氧清洗工艺核心设备“高浓度臭氧发生器”国产替代进行中。半导体 臭氧清洗工艺可有效避免或减少浓硫酸、氢氟酸等化学药剂的使用量，并在 晶圆表面形成一层致密氧化膜，但其核心设备“高浓度臭氧发生器”市场主要 由美国 MKS 及德国安索罗斯等国外厂商占据，清洗设备用臭氧发生器国产 化率仅为 10%左右，目前主要供应商为美国 MKS，其 2021 年中国区总收入 为 3.55 亿美元。公司研发半导体用臭氧设备多年，已掌握了半导体行业用臭 氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术，高浓度臭氧水系统和高浓度臭氧 气体系统全系列产品已研制完成，目前正在做多种型号规格的样机测试。公 司半导体清洗专用臭氧设备首台套已于 2022 年下半年交付于客户使用，目 前正处于产品验证阶段，目前新建厂区人员、设备已配置到位，待验证通过 后公司将根据客户验证情况及订单情况有序排产。