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光伏行业TOPCon设备专题报告：TOPCon大规模量产，PECVD成为主流工艺。行业转型，TOPCon 电池率先实现大规模量产：随着 PERC 电池量产效率逐 渐接近其理论效率，行业开始转向 TOPCon/HJT 等 N 型电池。而 TOPCon 电 池以其电池效率高、设备投资成本低、与 PERC 产线兼容性高等优点，率先实 现大规模量产。据不完全统计，截止目前，TOPCon 已投产 69.75GW，规划 待建产能近 474GW。

TOPCon 存在工艺路线之争。TOPCon 电池与 PERC 电池核心差异在于，新 增隧穿氧化层，以及掺杂多晶硅层。以多晶硅层制备方法，TOPCon 工艺路线 分为 LPCVD/PECVD/PVD 路线。从工业应用角度看，掺杂多晶硅层制备方 法，要求工艺简单、产能大；隧穿氧化层因其对电池整体性能影响十分关键， 要求工艺制备的膜层致密度高、均匀性好。

从技术角度看， PECVD 法能实现 LPCVD 法同等制备效果，且清洗绕镀简 单，工艺精简、良率预期更高。LPCVD 路线技术最成熟，但有严重绕镀、原 位掺杂难等问题。因绕镀，LPCVD 设备需增加一倍设备；PVD 路线，根据 ISFH 研究观点，PVD 钝化效果略差。且实际运行中，维护频率高，开机率 低；而 PECVD 路线轻微绕镀、且清洗容易，可原位掺杂、工艺精简，爆膜问 题可通过电池背面微制绒解决。隧穿氧化层质量对电池效率影响至关重要。文 献数据显示：从膜层密度角度看，PECVD 制备的氧化层密度（2.2g/cm3）要 优于 LPCVD（2.15g/cm3）；从膜层均匀性角度看，PECVD 法制备的氧化层 粗糙度 1.38nm，与 LPCVD 制备的氧化层粗糙度 1.36nm 相当。

从经济性角度看，PECVD 路线设备投资成本低、产能大、维护成本低、开机 率高。根据皇氏集团机构调研纪录表，（1）PE 路线比 LP 路线设备采购成本 少；（2）PE 路线工艺时间短，单台设备产能大，设备机台数量少，省空间， 设备好布局；（3）维护成本对比：LP 路线石英管寿命平均 56 天，石英舟寿 命 60 天，石英件消耗 162 万/台/年，PE 路线石英管寿命 1-2 年，只有正常的 石墨舟消耗，LP 设备的石英件消耗比 PE 设备费用预计多出 3530 万/年（5GW 计）；（4）设备人员配置上，LP 路线估计是 PE 路线的一倍以上，每天在做 维护换石英管，且设备利用率较低，更换石英管需要 3-4 小时，期间整台设备 需停机。