量测设备行业分析：寸辖制轮，事得其要.pdf

量测设备行业分析：寸辖制轮，事得其要。量测/检测设备行业是不可多得的好赛道：长期高回报、空间大机会足。 根据 Gartner 数据统计，KLA 在量测/检测设备行业市场占比超 50%， 是名副其实的行业龙头，该公司通过大举并购实现以过程控制设备为 核心、相关良率管理服务配套的完整产品结构。近年来随着晶圆制造 的精细发展，良率的提升成为了制造商着重关注的部分，KLA 也随之 在近几年取得长足收益，与其他海外半导体设备厂商相比，KLA 的整 体表现已稳居前列，此类质量监测设备的高回报属性也在逐步显露。 国内过程控制设备企业数量较少、产值较低，相较于其他晶圆生产设 备，量测/检测设备难以实现有效产值匹配。以中芯国际为例，KLA 等 欧美厂商是生产线上过程控制设备等主要提供方，量测/检测设备的国 内发展空间仍旧很大。

量测/检测设备贯穿晶圆制造全过程，国产需求迫在眉睫。量测/检测设 备作为保证集成电路芯片生产线取得高成品率和高经济回报的关键性 设备，在前后道工艺中均发挥了作用。在前道制造工艺中主要针对产 品的关键参数进行测量，并发现其中存在的缺陷；在后道封装工艺中， 针对芯片封装、圆片级封装和硅通孔等关键技术的缺损及其参数的检 查及测量，相较而言过程控制对前道工艺的意义更加显著。放眼国内 过程控制设备企业，由于整体起步较晚，很少有企业可以实现质量监 督全覆盖，但近年来随着国内产线的不断升级需要加之国际形势的日 益严峻，量测/检测设备的国产需求急剧增加，国内企业的进一步发展 迫在眉睫。

依靠光学、电子束两大核心技术，赛道平台化前景广阔。从技术层面 来看，量测/检测设备的研发离不开光学与电子束的发展。其中光学技 术的使用更加频繁，基本实现量测及检测设备的全面应用，电子束相 对而言在检测设备及缺陷复查领域的应用更加广泛，二者由于各有优 劣，在晶圆厂的良率管理上基本均有搭配使用。具体到国内各企业而 言，不同企业的深耕范围有所差异，目前仍未形成直接广泛的竞争关 系。国内，精测电子在光学量测设备、晶圆缺陷检测设备以及电子束设 备方面均有布局，进展国内领先；中科飞测在集成电路、先进封装领域 的光学检测、量测领域积累深厚；上海睿励主要从事光学技术层面的 设备开发；赛腾股份通过收购日本 OPTIMA 进军半导体量测设备领域； 东方晶源在电子束缺陷检测设备上造诣颇深。