半导体设备行业分析：2022年招标量规模显著，国产替代稳步推进.pdf

半导体设备行业分析：2022年招标量规模显著，国产替代稳步推进。设备市场天空海阔，国产替代任重道远。半导体设备市场空间广阔。 未来，半导体设备公司的增量将更多地来源于市场份额的提升。在市 场、国家战略、产业自主可控等多重因素的驱动下，中国大陆晶圆制 造及其配套设备环节的加速发展势在必行。中国大陆晶圆产能的持续 扩张，有望持续拉动上游配套半导体设备的市场需求。内资晶圆产线 产能距离规划仍有较大的提升空间，国产半导体设备的订单增量前景 广阔。当前半导体设备国产化率仍处于非线性提升区间，国产替代驱 动的份额提升，将为行业贡献可观的成长速度和空间。随着细分品类 的市场份额提升，以及产品品类的多元扩张，未来，国产半导体设备 公司的成长边界有望不断拓宽。

2022 年招标量规模显著，以积塔、华虹、燕东招标为主。2022 年， 统计样本中的晶圆产线合计招标 1060 项，其中，积塔、华虹、燕东的 设备招标量位居前三。整体而言，招标以量测设备、沉积类设备和刻 蚀设备为主。其中，2022 年，积塔合计招标 502 项，以量测、沉积类、 刻蚀设备居多；华虹合计招标 263 项，以量测、检测、热处理设备居 多；中芯合计招标 148 项基建项目；长鑫合计招标 12 项基建项目。

国产厂商卡位探针台、量测、炉管等领域，2022 年国产设备中标比例 30%。中标方面，2022 年，统计样本中的晶圆产线合计中标 1040 台 设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约 30%，其中，硅片再生、气液系统、去胶、湿法腐蚀、PVD 设备的国 产中标比例较高。

2022 年北方华创等公司中标量领先，国产设备在所处工艺领域的中标 表现突出。2022 年，国内半导体设备厂商合计中标 231 台设备，北方 华创、创微微电子、中微公司、万业企业中标量领先，分别中标 64 台、 28 台、22 台、21 台设备。2022 年，国内半导体设备厂商合计中标量 在对应工艺环节的中标比例为 26%。其中，盛美上海的硅片再生设备、 北方华创的 PVD 设备和氧化设备、创微微电子的湿法腐蚀设备在对应 工艺环节的中标比例领先，分别为 67%、50%、50%、47%。