石英坩埚和石墨坩埚升级换代助力我国单晶硅行业提质增效.docx

上传者：v**********
时间：2022/12/14
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石英坩埚和石墨坩埚升级换代助力我国单晶硅行业提质增效。目前，国内拉制半导体单晶硅和拉制光伏单晶硅常用的是石英坩埚配合石墨坩埚同时进行的，制造单晶硅所用的石英坩埚规格通常是18英寸-36英寸的，也有个别厂家使用40英寸及以上的太阳能级石英坩埚或半导体级石英坩埚。

当前国内石英坩埚生产大厂的坩埚生产技术都比较成熟，大多采用电弧熔制法配合旋转塑模法制作拉制单晶硅棒的石英坩埚，该方法是利用旋转带来的离心力使高纯石英砂在洁净环境中堆积于具有坩埚形状模具的内表面，再通过电弧放电加热使堆积于内表面的石英粉熔融、玻璃化，并最终成形为呈现半透明状拉制单晶硅石英坩埚。生产拉制单晶硅石英坩埚具有内外两层结构，由于石英坩埚内层影响最终的单晶硅片质量，所以一般采用进口美国高纯石英砂或挪威高纯石英砂，石英坩埚外层主要用来散热，所以使用国产石英砂通常就能满足需求。