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广立微（301095）研究报告：良率提升工具国产领先，自主可控提速发展。国际局势不确定的背景下，半导体全产业链的国产替代迫在眉睫。其中， 良率关系产品的成败及利润率，半导体材料厂商 Entegris（应特格）执行 副总裁及首席运营官 Todd 表示，对于尖端的逻辑晶圆厂而言，1%的良率 提升意味着 1.5 亿美元的净利润。因此与良率提升息息相关的测试环节尤 为重要。公司自 2003 年成立以来，始终专注于集成电路 EDA 软件与晶圆 级电性测试设备的研发，发展至目前，公司软硬件覆盖了测试芯片设计 EDA 软件、电性测试设备、测试数据分析软件等芯片良率提升的关键环 节，率先打破了海外巨头是德科技和 PDF Solution 在相关技术领域的垄 断，公司客户已经覆盖三星、华虹集团、粤芯半导体、合肥晶合、长鑫存 储等国内外著名厂商。

WAT 设备国内领先，技术能力对标海外龙头

晶圆测试是集成电路制造、设计环节必备的测试之一，WAT 测试是集成电 路产线的重要组成部分，属于晶圆产品出货前第一次经过完整的电性测试 流程，对测试精度、准度及一致性要求高，行业技术门槛较高。2020 年， 公司自主研发出 WAT 测试设备进入量产，成为国内唯一具有量产能力的 供应商，打破 Keysight 电性测试领域对全球垄断的局面。从具体参数来 看，Keysight 的设备国际领先，其电流量程覆盖 10pA 至 1A，电流测试精 度达 0.1fA，电压测试精度达 0.1uV；公司电性测试设备电流量程覆盖 100pA 至 1A 略低于 Keysight，其余主要参数均已经实现持平。同时在成品 率提升领域公司实现了全流程的覆盖，具备更完整的解决方案。从财务数 据看，公司测试机及配件业务营业收入，2020 年和 2021 年连续两年实现 200%以上的增长，占比由 25%提升至 51%。从市场空间来看，按照我国大 陆各英寸生产线月产能 600+万片测算，WAT 电性测试设备市场空间超过 20 亿元。

持续投入软件研发，数据软件存百亿潜在空间

2019 年至 2021 年，公司研发费用率维持 30%以上的高投入，剔除股份支 付费用后复合增长率为 60%，主要应用于 EDA 软件开发及 WAT 设备研 发。截至目前，公司 EDA 软件包括测试结构设计，外围电路绕线设计及 IP 电路设计、物理拼接等多个方面。并自主研发的可寻址测试芯片及超高 密度测试芯片，提升设计密度及测试效率百倍以上。已经推出泛 EDA 软 件的半导体数据分析产品 DataExp，在成品率数据分析方面，可将大量设 计 DOE 信息与电性测试数据结合，通过数据建模快速找到缺陷多发的 IC 设计版图模式。从市场空间来看，假设我国大陆 2025 年约 300 条晶圆生产 线测算，国内测试芯片 EDA 市场规模约 40 亿元，半导体行业数据分析软 件长期存在约 40 亿元的市场空间。根据 PDF Solution 测算，全球半导体数 据分析市场存在上百亿美元的市场空间。