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正帆科技（688596）研究报告：工艺介质供应系统快速增长，电子气体和半导体零部件成新增长点。公司是国内领先的工艺介质供应系统商，专业从事电子工艺设备、生物制药设备、 电子气体和 MRO 服务，并拓展半导体零部件 Gas Box 业务，客户群体覆盖中芯国际、 长江存储、合肥长鑫、华虹宏力、通威、隆基、晶澳、恒瑞医药等多领域头部客户，业 绩实现了快速增长。1）收入端：受益半导体&光伏行业大规模扩产需求，2021 年公司 营收达到 18.37 亿元，2016-2021 年 CAGR 为 26%，稳健增长。2）利润端：2021 年公 司归母净利润为 1.68 亿元，2016-2021 年 CAGR 达到 52%，明显高于同期收入端增速， 反映出盈利能力明显提升。2017-2021 年公司扣非销售净利率分别为 3.77%、5.53%、 6.40%、6.71%、7.48%，真实盈利水平持续提升。

工艺介质系统：下游投资拉动行业需求，仍有较大成长空间

受益于集成电路、光伏等行业旺盛的扩产需求，工艺介质系统需求有望维持高位。 若仅考虑半导体行业，我们预估 2021 年中国大陆工艺介质系统市场规模为 144 亿元， 2023 年有望达到 206 亿元。若再考虑到光伏等行业需求，我们判断 2021 年工艺介质 系统市场规模将突破 200 亿元。在本土企业中，公司和至纯科技较为领先，2021 年公 司电子工艺设备实现收入 12.83 亿元，至纯科技高纯工艺系统收入 10.78 亿元，我们判 断 2021 年二者在本土市占率均不足 10%，行业集中度较低，成长空间依旧较大。

半导体设备零部件：Gas Box 市场需求旺盛，公司有望快速放量

气柜模组（Gas Box）为干法泛半导体设备内部的模组化气体供应系统。若仅考虑 半导体设备需求，我们预估 2021 年全球和中国大陆 Gas Box 市场规模分别为 163 和 47 亿元，2023 年有望达到 192 和 67 亿元。若再考虑光伏、面板显示等行业需求，我 们判断 2021 年中国大陆 Gas Box 市场规模将超过 100 亿元。Gas Box 仍高度依赖进 口，在全球供应链紧张、贸易摩擦的背景下，国产半导体设备商对零部件国产替代诉 求愈发强烈。公司深耕气体输送系统多年，设备外输送系统与设备内部气体系统底层 技术互通，具备切入 Gas Box 领域的先发优势。公司正在积极对接半导体&光伏设备 客户，部分客户已批量采购，有望进入快速放量阶段。

OPEX：战略发展重点，材料&服务业务打开成长空间

展望未来，考虑到泛半导体行业的周期性，在未来下游扩产增速放缓背景下，与 存量产线直接相关的 OPEX 业务的战略重要性将愈发凸显，公司正在材料、服务端积 极布局。1）电子气体：分为电子特气和电子大宗气两大类，我们预计 2022 年我国电 子气体市场规模将达 308 亿元。公司在电子特气领域已形成较强市场竞争力，是国内 为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。2022 年公司募投项目重点布局电 子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展，进一步打开成长空间。2）MRO：即维护、 维修、运营，主要针对已向客户交付使用的电子工艺设备、生物制药设备提供后续配 套服务。公司为本土少数具备 MRO 一站式服务的综合能力的企业，2021 年 MRO 业 务收入占比仍仅为 10.21%，后续成长空间较大。