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华海清科（688120）研究报告：国产CMP设备龙头，正培育耗材及技术服务新增长点。CMP 设备本土市场领先，国产化提速带来收入、业绩高增长。华海清科 是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体 专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP） 设备。CMP 是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键 制程工艺，其利用化学腐蚀和机械研磨的协同配合，实现晶圆表面多余材 料的高效去除和全局纳米级平坦化。CMP 设备则是对硅片/晶圆自动化实 施 CMP 工艺的超精密装备。随着超大规模集成电路制造的线宽不断细小 化而产生了对平坦化的更高要求和需求，CMP 在先进工艺制程中具有不 可替代且越来越重要的作用。公司所生产的 CMP 设备可广泛应用于 12 英寸和 8 英寸的集成电路大生产线，技术性能处国内领先水平，本土化服 务和性价比优势明显，在国内晶圆制造产线中的应用明显提升，营收和业 绩也均保持快速增长。2022 年上半年，公司实现收入 7.17 亿元，同比增 长 144.27%；实现净利润 1.86 亿元，同比增长 163.26%，高增长在延续。

12英寸 CMP设备是公司收入主要支撑，耗材及服务业务成长性开始凸显。 CMP 设备的主要作用是实现集成电路生产过程中晶圆不同介质层的整体 平坦化，目前行业内通常按所应用产线的晶圆尺寸（也代表技术难度）分 为 12 英寸 CMP 设备和 8 英寸 CMP 设备。从公司产品发展路径来看，公 司先面市了 12 英寸的 300 系列的 CMP 设备，后推出了 8 英寸的 CMP 设 备（200 系列）。由于市场需求结构以及产品成熟度的关系，12 英寸 CMP （300 系列）一直是公司 CMP 设备收入的主要来源。2021 年，公司 CMP 设备 6.94 亿元的销售收入中，12 英寸设备实现收入 6.82 亿元，占公司 CMP 设备收入的比重达到 98.34%。2021 年，公司 300 系列销售主要来 自于 300X 和 300Plus，主要客户包括长江存储和华虹。除了设备之外， CMP 相关衍生性业务增长快速，耗材和技术服务成为公司新的增长点。 2021 年，公司耗材和服务业务收入达到 1.11 亿元，同比增长 240.86%， 其中晶圆再生服务成为该业务的亮点，月产能达到 5 万片。

国内 CMP 设备市场空间广阔，晶圆再生有望成为新增长点。国内晶圆制 造产能将显著提升，CMP 投资以及应用频次也将增加。随着工艺技术的进步，CMP 设备在整体生产链条中的使用频次将进一步增加，投资规模在半导体设备行业的占比也将逐步提升。根据历史市 场规模和晶圆厂产线投资情况测算，CMP 设备市场规模约占 IC 制造设备市场规模的 4%左右。流程中的应用次数将逐步增加， 以逻辑芯片为例，65nm 制程芯片需经历约 12 道 CMP 步骤，而 7nm 制程所需的 CMP 处理增加为 30 多道。从全球市场看， 行业龙头荏原对这个市场预期较为乐观，该公司预计其收入增速在 2022 年将达到 38%；从国内市场上看，中芯、华虹等主 要晶圆代工厂及士兰微、华润微、闻泰、长江存储等 IDM 厂商积极扩产，公司的中标情况也比较乐观。此外，配套材料和技 术服务的较快增长有望成为公司业绩新引擎。这类业务相比于 CMP 设备，资产更轻，毛利率相对 CMP 设备较高，此类业务 的拓展对公司业绩的进一步提升非常有好处。2021 年，公司配套材料及技术服务业务毛利率达到 56.92%，其中技术服务毛 利率更是高达 63.87%。除了维保等常规服务之外，公司的再生晶圆服务的潜力将逐步释放。