拓荆科技（688072）研究报告：PECVD设备龙头，国产替代迎来发展机遇.pdf
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- 时间：2022/07/20
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拓荆科技（688072）研究报告：PECVD设备龙头，国产替代迎来发展机遇。2020年PECVD设备市场规模约57亿美元，在薄膜沉积设备市场中占比最高， 约33%。从供给来看，市场主要被国际巨头AMAT、LAM、TEL垄断，国内仅拓 荆科技生产。公司是国内唯一实现PECVD设备的供应商，深耕薄膜沉积设备 行业十余载，PECVD设备业务逐渐进入收获期，2020年营收为4.18亿元，占 全球市场1%左右；2021年营收6.75亿元，同比增长61.39%，随着国内晶圆 厂的扩产加速，公司业绩有望维持高增长。
ALD、SACVD设备：首台套相继出货，终端验证进展有望提速
2020年全球ALD设备市场规模约19亿美元，随着半导体先进制程产线数量增 加，预计2026年市场规模约为32亿美元。从竞争格局来看，TEL、ASM合计 占比约60%，而国内企业布局相对较慢，几无营收贡献。SACVD设备具有较 高的填沟能力，应用于高深宽比薄膜沉积工艺中，目前国内仅公司实现产 业化应用。拓荆积极布局ALD、SACVD设备，并于2018年确认首台ALD设备收 入，2021年确认首台SACVD设备收入，随着研发进展顺利，终端验证有望提 速。
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