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华海清科（688120）研究报告：垂直赛道标杆，CMP环节一体化龙头供应商。华海清科：国内 CMP 龙头方案商。公司主业为半导体 CMP 设备及配套服 务，是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端 半导体设备制造商。公司所生产 CMP 设备可广泛应用于 12 英寸和 8 英寸的集 成电路大生产线，产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司近三年的营收增 速迅猛，从 2019 年的 2.11 亿元增长到 2021 年的 8.05 亿元，年复合增长率高 达 95%，产品已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、 厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。本 次发行公司拟募集资金 10 亿元，实际募集 36.44 亿元，将投向 CMP 产业化项 目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生项目和补流，支撑公司长线扩张。

CMP 环节国产化突破实现。伴随半导体行业高速发展，设备市场景气度持 续。据 Gartner 数据，中国大陆 2021 年半导体设备市场销售额达到 226 亿美 元，同比增长 37.6%，占据全球约 25%的市场份额，为全球最大半导体市场，增 长势头强劲。而 CMP 设备在先进工艺制程中具有不可替代且越来越重要的作用， 市场规模有望持续上升。根据 Gartner 统计，2021 年全球 CMP 设备市场规模 为 27.83 亿美元，同比增长 57.48%。华海清科的 CMP 产品在已量产的制程 （14nm 以上）及工艺应用中已实现国产替代，与行业龙头公司的主要产品不存 在技术差距。公司产品在中国大陆 CMP 市场份额从 2018 年的 1.05%提升至 2020 年的 12.64%。在长江存储、华虹无锡、上海华力一二期项目、上海积塔 2021 年 CMP 中标设备中，华海清科占比 44.26%，领衔国内市场。

打造垂直一体化解决方案。公司依托 CMP 设备能力，在 CMP 环节纵深发 展，提供耗材及技术服务、晶圆再生服务，并拓展了减薄抛光一体化设备新产品。 1）耗材及服务：CMP 环节涉及大量耗材使用，2018-2021 年，公司累计发货 CMP 设备 137 台，发货量呈逐年翻倍增长趋势，伴随存量机台快速增长，公司 耗材及技术服务业务收入快速爬升，2021 年达 1.11 亿元，占总收入比例提升至 14%。2）晶圆再生：2021 年全球 12 寸晶圆再生需求达 139 万片/月，市场为 日本和中国台湾厂商垄断，公司基于自主生产的 CMP 设备提供晶圆再生服务， 预计建设 10 万片/月的晶圆再生产能，填补国内空白。3）减薄设备：公司承接 国家级重大专项，开发 12 寸减薄设备，已发往客户进行产线验证，有望在年内 实现商业化销售，成为新的业务增长点。