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半导体薄膜设备行业-拓荆科技（688072）研究报告：薄膜设备领军者，率先量产受益国产替代窗口期。拓荆科技：国产半导体薄膜沉积设备龙头。公司主业为半导体薄膜设备，于 PECVD 领域率先获得了突破，同时在 ALD、SACVD 设备上崭露头角，成为国内 唯一实现量产 PECVD、SACVD 设备的厂商。公司近三年的营收增速迅猛，从 2018 年的 0.71 亿元增长到 2021 年的 7.58 亿元，年复合增长率高达 121%。 公司凭借先进的自研产品，广泛供应中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、 厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产线，打破国际厂商对国内市场的垄断， 与国际寡头直接竞争。

景气度上行驱动半导体设备需求，国产替代进程提速。下游晶圆厂扩产持续， 设备景气度上行，Maximize Market Research 预计全球半导体薄膜沉积设备 市场规模将从 2020 年的 172 亿美元扩大至 2025 年的 340 亿美元，保持年复 合 13.3%的增长速度。在“02 专项”、“大基金”等政策扶持下，中国涌现了一 批本土供应商，推进设备国产化进程。随着半导体产业转移的加速、技术的更新 换代、晶圆厂高资本开支的推动及国内主要厂商对国产供应链的培育，国内的半 导体企业将迎来难得的机遇。公司作为国内薄膜设备领域领先且稀缺性的厂商， 将充分受益于国产替代进程。

稀缺性薄膜设备供应商，三大品类纵深发展。公司专注于薄膜沉积设备领域， 主要拥有三大产品线。PECVD 设备系公司核心产品，针对下游对于不同材料薄 膜 PECVD 设备的需求，已实现 180-14nm 逻辑芯片、19/17nm DRAM 及 64/128 层 3D NAND 的覆盖。ALD 设备可实现关键尺寸精度控制，用于 28- 14nm 产业化制造以及 2.5D、3D 封装，公司已实现量产 PE-ALD 设备。SACVD 是新兴的设备类型，市场规模较小，公司 2020 年首次实现量产，2021 年营收增 至 4116 万元，有望成为公司新的增长点。 目前公司薄膜沉积设备已获得众多国内主流半导体企业的认可，并且建立了稳定 的合作关系，良好的口碑助力公司设备迎来放量。2020 年国内薄膜沉积设备产 品市场约为 45.22 亿美元，其中 PECVD 市场规模约为 14.92 亿美元，ALD 市场 规模约为 4.97 亿美元。而同期作为国内龙头的拓荆科技营收仅 4.36 亿人民币， 仍有可观的国产化替代空间。 本次发行公司拟募集资金 10.0 亿元，实际募集 22.7 亿元，将投向高端半导体设 备扩产、技术研发与改进项目和补流，支撑公司长线扩张。