建筑行业专题报告：洁净室内部各系统产业链及公司梳理.pdf

伴随先进制程与存储芯片需求增长，半导体行业资本开支上行，带动洁净室各系统需求扩张。洁净室作为集成电路产业的底层基础设施，其核心系统包括暖通空调系统（HVAC）、高纯工艺系统和工艺废气治理系统，三者各司其职，共同保障晶圆制造的良率与环境安全。

HVAC系统：作为管控空气分子污染物（AMC）的核心，FFU及过滤器是关键设备。全球格局以爱美克、康菲尔等海外巨头为主，国内美埃科技兼具设备与耗材生产能力，市占率约30%；再升科技聚焦上游滤料，创元科技涉及多系统布局。耗材的复购属性为企业提供了双重成长逻辑。

高纯工艺系统：负责高纯气体、化学品及超纯水的稳定供给。至纯科技在12寸晶圆厂特气系统市占率近半，正帆科技通过“CAPEX+OPEX”转型提升抗周期能力。超纯水领域外企垄断度高，但深桑达A下属中电环境已实现重大项目的突破。新莱应材在核心零部件领域通过国际大厂认证。

工艺废气治理：因废气组分复杂且具危险性，治理系统与生产工艺深度耦合。盛剑科技在本地及中央废气治理环节具备竞争力，加速对标海外差距。

投资建议：推荐具备项目落地能力的系统集成商亚翔集成、柏诚股份、圣晖集成，以及技术优势明显的核心零部件和耗材厂商美埃科技、正帆科技、新莱应材、盛剑科技。风险提示包括下游资本开支不及预期、行业竞争加剧及项目回款风险。