中科仪-920186-半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动，国产替代正当时.pdf

上传者：敏*
时间：2026/07/17
热度：76
0人点赞
举报

本报告对华源证券关于中科仪（920186.BJ）的首次覆盖报告进行了详细解读。报告指出，先进制造和科研广泛依赖真空技术，干式真空泵是集成电路制造工序中提供真空环境的核心附属设备。2024年，真空系统类零部件在光刻、量/检测、离子注入等领域的国产化率不到10%，在薄膜沉积、刻蚀等领域的国产化率也不到40%，国产化需求迫切。中科仪深耕真空科研仪器行业，在洁净真空、超高真空领域形成大量技术积累，2025年营业收入12.91亿元，同比增长19.30%，归母净利润8.44亿元，同比增长337.77%。公司是我国集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，唯一在先进制程及全工艺环节实现批量应用的国产企业，产品已通过台积电、SK海力士等国际头部客户验证。报告预计公司2026-2028年归母净利润分别为2.3/2.8/3.5亿元，给予“增持”评级。