中科仪-920186-北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头，打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长.pdf

中科仪（920186.BJ）是一家专注于干式真空泵和真空科学仪器设备研发、生产、销售及相关技术服务的企业，拥有中科院背景，是真空设备领域的领军者。公司主营业务包括面向半导体及泛半导体领域用于晶圆制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025年12月31日，已获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。

在干式真空泵领域，公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司的研发创新打破了欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。此外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年增长25.65%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，市场规模约47.0-57.2亿元。公司募投项目预计将进一步提升技术水平，提升生产能力，形成年产20,040台干式真空泵的生产能力。

预计公司2026-2028年的归母净利润分别为2.26/2.64/3.14亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入），对应EPS分别为1.01/1.18/1.40元/股，对应PE为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。